دستگاه لایه نشانی ترکیبی به کمک لیزر پالسی و تبخیر حرارتی PLD-T
PLD – T یک سیستم لایه نشانی خلاء بالا است که قادر به لایه نشانی رنج وسیعی از مواد با استفاده از لیزر پالسی (لایه نشانی لیزر پالسی) و یا تبخیر حرارتی می باشد. در روش لایه نشانی با استفاده از لیزر پالسی، منبع تبخیر (لیزر) در خارج از محفظه قرار داده می شود و پرتو لیزر از طریق یک پنجره تحت زاویة مناسب به سطح هدف که در حال دوران است، برخورد کرده و اتم های جدا شده از سطح هدف روی زیر لایه نشانده می شوند.
در این روش پالس لیزر با زمان خیزش کمتر از چند نانو ثانیه به ماده مورد نظر تابانده شده و موجب تبخیر ماده مورد نظر بدون تغییر استوکیومتری می شود. این روش برای لایه نشانی مواد ترکیبی مثل نیترات ها، اکسیدها، پلیمرها، ابر شبکه ای ها و ... بسیار مناسب می باشد. به علاوه سیستم دارای یک منبع تبخیر حرارتی با قابلیت فعال سازی سه بوته یا بسکت بوده و امکان انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی برای کاربرد های لایه نازک را نیز فراهم می کند.
مشخصات دستگاه
- مجهز به پمپ توربو مولکولار خلاء بالا 300 l/s (آلمانی) و پمپ پشتیبان دیافراگمی (آلمانی)
- خلاء نهایی 2 × 10-6 torr
- فشار سنج ترکیبی با قابلیت قرائت فشار از اتمسفر تا 10-9 torr (آلمانی)
- مجهز به سامانه تبخیر حرارتی با قابلیت نصب سه منبع تبخیر ( قایقک، سبد و یا سیم پیچ )
- مجهز به نگهدارنده بوته ها و فیدتروهای الکتریکی مخصوص
- مجهز به سیستم boat selection
- فیدتروهای الکتریکی جریان بالا
- نگهدارنده و چرخاننده تارگت ها با قابلیت تنظیم سرعت چرخش
- ضخامت سنج کریستال کوارتز با دقت اندازه گیری یک نانومتر شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانی
- صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
- نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
- نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش
- مجهز به هیتر زیرلایه 500 درجه سانتیگراد
- شاتر الکترونیکی
- یک سال گارانتی کامل
محفظه خلاء
محفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه ای از استیل به قطر خارجی mm 300 و ارتفاع mm 250 همراه با چهار پنجره 2 اینچی می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ دیافراگمی پشتیبانی می شود و با توجه به اینکه لیزر ( به عنوان منبع انرژی ) در خارج ار محفظه خلاء قرار دارد، لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز و خلاء بالا انجام می شود.
صفحه نمایش رنگی
دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی 7 اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و ...) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به 300 لایه نشانی آخر را دارا می باشد.
منابع تبخیر (سبد، قایقک، سیم پیچ)
دستگاه لایه نشانی در خلاء مدل PLD - T دارای قابلیت نصب سه منبع تبخیر مستقل با بازه طولی 5 تا 9 سانتی متر می باشد. این منایع به صورتی طراحی شده اند که یکدیگر را آلوده نمی کنند.
نگهدارنده و چرخاننده تارگت ها
در سیستم های لایه نشانی با استفاده از لیزر پالسی، در صورتی که پرتوی لیزر برای مدتی رو یک نقطه از تارگت تابیده شود، موجب آسیب دیدن آن نقطه و سوراخ شدن تارگت می شود. به همین جهت دستگاه PLD – T مجهز به یک سیستم نگهدارنده و چرخاننده تارگت ( است که قابلیت نگهداری سه (target manipulator تارگت با قطر 2 سانتی متر را دارا می باشد.
سایر ویژگی های دستگاه PLD - T
- مجهز به منبع تغذیه جریان بالای 5/2 کیلو وات
- یک عدد MFC برای کنترل فشار محفظه خلاء و ورود گاز به محفظه
- کنترل خودکار توان لایه نشانی به صورت مستقل از فشار
- رسم منحنی های فشار و ضخامت
- انتقال منحنی ها و داده های فرآیند لایه نشانی بوسیله ی USB به کامپیوتر
- ابعاد: قطر 50سانتی متر × عرض 65 سانتی متر × ارتفاع 60 سانتی متر
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی
دستگاه دارای کریستال کوارتز، منابع تبخیر ( قایقک، سبد و سیم پیچ ) و مواد تبخیر شونده می باشد.